具有 400 MHz 扫描频率和用于生产的高速平台的高速扫描。

业内最大的场地规模！提供业界最大的 5 毫米偏转。 非常适合需要关注字段间拼接错误的应用。

非常适合研究和开发！支持从高精密曝光到大电流高速曝光的广泛应用

Φ108mm的大直径光束，通过充分利用光束面内分布监控功能，可以实现各向异性干法蚀刻。

“ELIONIX ”系列第五代超显微压痕硬度测试设备，通过抑制测量环境中的干扰，实现高数据再现性。纯日本制造的纳米压痕测试仪，用户更能接受GUI。

紧凑和高性能，使用 ECR 离子束可以进行纳米级蚀刻和沉积，制品特微。

半透镜超高分辨率扫描电子显微镜，加速电压 1kV 时分辨率为 0.7nm，通过半透镜SEM实现形状测量和粗糙度分析。

利用电子束超精细测量分析技术，对精密加工刀具的切削刃形状和粗糙度进行量化。它实现了现有光学等测量方法难以实现的纳米级的比较和分析。

最大直径为 φ400 mm 的大型圆柱形样品可以直接安装在载物台上，可以进行从电子束观察到超精细 3D 形状测量和使用二次电子的元素分析的复合分析。