1983年 3月
荣获中小企业诊断系统颁发的东京都知事奖
1985年 3月
荣获中小企业诊断系统颁发的中小企业理事长奖
1990年 1月
日本精密工程学会日本精密工程学会技术奖《电子束三维超精密表面轮廓测量设备的研制与应用》
1991年 10月
因“超精密金刚石切削工具切削刃的评价研究” 获得精密测量技术振兴财团颁发的高城奖
1996年 9月
荣获精密测量技术振兴财团颁发的高城奖《微细加工技术研究》
2000年 3月
荣获日本机械振兴会颁发的第30届新机械开发奖《高加速场发射型电子束光刻系统的开发》
2002年 4月
荣获朝日中小企业优秀新技术/新产品奖“电子束光盘母盘制作设备”
2004年 4月
（财团）Resona中小企业振兴机构/日刊工业新闻产业研究所
荣获第十六届中小企业优秀新技术/新产品奖优秀奖（超高精度电子束光刻系统）
荣获第十六届中小企业优秀新技术/新产品奖技术管理特别奖
2005年 2月
nano tech2005 国际纳米技术展览会/技术会议纳米技术大奖日刊工业新闻奖
2006年 4月
被经济产业省和中小企业厅选为支持日本未来的 300 家中小企业之一
2008年 9月
荣获东京商工会议所第6届勇于经营奖
2010年 2月
nano tech2010 荣获国际纳米技术展/技术会议微细加工技术类别奖
2010年 5月
董事长兼首席执行官 本目精吾 在第 8 届产学官合作杰出服务奖中获得经济产业大臣奖
2011年 1月
董事长兼首席执行官 本目精吾 获得了由日刊工业新闻社主办的第 28 届优秀经理人奖
2011年 4月
董事长兼首席执行官 本目精吾 获得旭日、金光和银光勋章
2012年 11月
荣获东京创业技术大奖鼓励奖
2014年 3月
被经济产业省选为Global Niche Top 100家企业之一
2020年 1月
nano tech2020国际纳米技术展/技术大会纳米加工奖
2020年 10月
被经济产业省选定为“地区未来驱动企业”
东京理科大学
纳米压印三维模具加工联合制作
长冈科技大学
联合开发超显微压痕硬度计
北海道大学
使用离子束开发纳米结构制造技术
东京都多摩地区的中小企业制造业和大学
（地区振兴财团研究开发项目）使用金属材料的微电子机械（MEMS）一体成型技术研究
（战略性基础技术强化事业）开发对安全安心的社会有用的测量控制设备用先进功能材料
神奈川工业技术中心等
（经济产业省、关东地区开发财团）使用纳米碳的大面积3D纳米压印技术
国立研究开发法人产业技术综合研究所
（地区中小企业支援型研究开发项目）开发与超微压痕硬度计的进步相关的软件
参加经济产业省产学合作制造核心人才培养项目
纳米技术制造核心人才培养项目
该计划以中小型企业和中型企业为对象。
这是一个培养掌握充分利用它的专有技术并可以在制造现场监督技能和技术的人才的计划。
我们通过接受实习和开展有关电子束光刻的讲座来参与该计划。
作为首都产业振兴协会会员的活动
作为首都产业振兴协会的理事，我参与了各种活动。我们还实施汉阳大学学生的实习，并接受实习促进协会的实习。
