电话/传真 ：13689599278 /
电子邮箱：elionix-china*elionix.com(请将*改成@后发送)
销售热线：0755-2691-4589
联系地址：深圳市南山区南山街道登良路26号公园道大厦B栋1010
Φ108mm的大直径光束，通过充分利用光束面内分布监控功能，可以实现各向异性干法蚀刻。
