1975年 3月
以500万日元资本金在东京都杉并区成立。代表取缔役社长 冈崎伊喜夫
1975年 6月
扩建并迁至武藏野市中町，开始半导体相关设备的开发和制造
1977年 6月
迁至八王子市千人町，增资至3000万日元
1979年 6月
增资至4500万日元
1981年 11月
从东京中小企业投资咨询株式会社以可转换债券形式获得贷款
1983年 1月
八王子市元横山町总公司工厂竣工
1984年 8月
在大阪市西中岛开设大阪营业所
1985年 11月
包括转换公司债券在内，增资至8500万日元
1990年 4月
总公司陈列室竣工
1992年 12月
任命 本目精吾 为总裁兼代表董事
2002年 6月
大阪营业所（现西日本营业所）迁至大阪府池田市
2003年 10月
增资至1.7亿日元
2003年 11月
纳米技术系统中心在八王子市左入町竣工
2008年 10月
增资至2.7亿日元
2009年 12月
牧内昌幸 被任命为总裁兼首席运营官
本目精吾 被任命为董事长兼首席执行官
2011年 12月
冈林彻行 被任命为总裁兼首席运营官
2013年 12月
冈林彻行就任总裁兼代表董事
2018年 11月
在中国深圳市成立子公司
Elionix(china)
2018年 12月
冈林彻行就任会长兼代表董事
七野实就任总裁兼代表董事
2023年 12月
菊地洋介 就任总裁兼代表董事
2024年 1月
2024年1月 西日本营业所迁至淀川区西中岛
