ELS-ORCA

一产品特点

◇定制各种选项的最佳规格

以加速电压30kv为标准，准备了加速电压50kV、动态聚焦·斯帶格玛、使用高度传感器的聚焦调整等各种各样的选项。

通过组合这些选项，可以定制为符合所需模式和预算的装置规格。

◇用户友好型软件

标准搭载了新的装置控制软件“elms”。通过整理并分割CAD变换、光東调整、绘画执行、SM观察等各种功能，容易找到必要的功能，工作性大大提高。因为也有账户管理功能，所以也可以根据用户的水平进行功能限制等。

◇专门用于SEM观察的廷迟选项

可选择可进行低伤害且高分辨率SEM观察的延迟选项。在相当于SEM装置的低加速电压下，可进行最大试样尺寸8inch、可观察范围6inch的SEM观察。此外，还可以挪用绘图用CAD进行坐标对齐的自动观察。

-主要规格