具有 400 MHz 扫描频率和用于生产的高速平台的高速扫描。

非常适合研究和开发！支持从高精密曝光到大电流高速曝光的广泛应用

最适合研究开发!以加速电压30kV为标准,可选择加速电压:50kV等各种选项。

紧凑和高性能，使用 ECR 离子束可以进行纳米级蚀刻和沉积，制品特微。

搭载2支离子枪 2支离子枪可以在不打破真空的情况下反复进行蚀刻和成膜

Φ108mm的大直径光束，通过充分利用光束面内分布监控功能，可以实现各向异性干法蚀刻。

“ELIONIX ”系列第五代超显微压痕硬度测试设备，通过抑制测量环境中的干扰，实现高数据再现性。纯日本制造的纳米压痕测试仪，用户更能接受GUI。

通过采用结合空心阳极离子枪和磁控管离子枪的独特新型离子枪，我们实现了超精细结构的薄膜。