◇适合精细加工

  由于 ECR 等离子体是在低气压环境中产生的，因此可以提取高度笔直的光束。 大量的低能离子被加速并被引导到更高真空的样品室中进行处理。 这是最适合纳米级蚀刻加工的系统。

◇PC操作的简化和自动化

  它提供舒适的操作环境，例如自动计划功能和配方功能，以减轻操作员的负担。

◇低损伤蚀刻

  除了等离子体生成条件设置和射束加速电压设置之外，通过充分利用射束面内分布监控功能，可以最大限度地减少对抗蚀剂的损坏，并可以获得具有高选择比的加工条件。