通过使用半透镜法进行三维测量,我们实现了低加速度下的超高分辨率。它在 3D 测量期间以 1 kV 的低着陆电压(对样品的照射电压)保证了在高度方向上 1 nm 的超高分辨率。可以准确捕捉和分析样品最外表面的精细形状。
◇ 实现1nm以下的超高分辨率、低加速度、3D测量!
通过半透镜SEM实现了形状分析。
通过使用半透镜法进行三维测量,我们实现了低加速度下的超高分辨率。
它在 3D 测量期间以 1 kV 的低着陆电压(对样品的照射电压)保证了在高度方向上 1 nm 的超高分辨率。
可以准确捕捉和分析样品最外表面的精细形状。
◇ SEM视场三维形状测量和表面粗糙度分析
・可以在超高分辨率SEM观察视野中获得精确的3D形状数据。
・可以使用表面粗糙度分析功能计算JIS标准和ISO标准参数,例如Ra和Rz。
◇加速电压低,分辨率高
・可以从100V以下进行观察,1kV时的分辨率达到了0.7nm的横向分辨率。
・通过采用半透镜方式,我们在 15 kV 下实现了 0.5 nm 的最大分辨率。
◇彻底的污染对策
・采用干式泵(完全无油)以防止污染。
◇联锁机构
・配备互锁机构,避免物镜与样品接触。
此外,标本室的CCD监视器作为标准配备。
<SEM观察系统>
电子枪 | ZrO/W热场发射型 |
照射电压 | 100 V ~ 30 kV |
二次电子检测器 | Top检测器 4式 Upper检测器 2式 Lower检测器 1式 |
分辨率 | 0.4nm (照射电压30kV) 0.5nm (照射电压15kV) 0.7nm (照射电压1kV) |
倍率 | x60 ~ 3,000,000倍 |
试样尺寸 | Φ100mm、Φ36 x H10mm、Φ26 x H16mm |
试样驱动 | X,Y,Z,R,T5轴马达驱动 |
<三维测量系统>
纵向分辨率 | 1 nm |
测量方向 | X方向、Y方向 |
测量数据点数 | 最大432万点 |
数据记录方式 | Windows支持 |
解析 | 等高线、鸟瞰图、山数、粒度 面积率、表面积、JIS标准参数 |